ГлушкоA.A., РодионовИ.A. і Макарчук, В.В. 2007. Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD. Технологія та конструювання в електронній апаратурі. 4 (Сер 2007), 32-34.