Дудин, С. В., Яцков, А. П., & Фареник, В. И. (2002). Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 43-50. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.3.43