ГлушкоA. A., РодионовИ. A., & Макарчук, В. В. (2007). Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 32-34. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.32