ГлушкоA. A.; РодионовИ. A.; МАКАРЧУК, В. В. Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, n. 4, p. 32-34, 30 Сер 2007.