ГлушкоA. A., РодионовИ. A. і Макарчук, В. В. (2007) «Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD», Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), с. 32-34. доступний у: https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.32 (дата звернення: 10Листопад2026).