[1]
А. Е. Иванчиков, КисельA. M., А. Б. Медведева, В. И. Плебанович, В. Н. Пономарь, і В. Е. Шикуло, «Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением», TKEA, вип. 5, с. 46-50, Жов 2003.