ГлушкоA. A., РодионовИ. A., і В. В. Макарчук. «Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD». Технологія та конструювання в електронній апаратурі, вип. 4, Серпень 2007, с. 32-34, https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.32.