ГлушкоA. A., РодионовИ. A., і В. В. Макарчук. «Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD». Технологія та конструювання в електронній апаратурі, no. 4 (Серпень 30, 2007): 32-34. дата звернення Листопад 10, 2026. https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.32.