ГлушкоAA, РодионовИA, Макарчук ВВ. Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD. TKEA [інтернет]. 30, Серпень 2007 [цит. за 10, Листопад 2026];(4):32-4. доступний у: https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2007.4.32