УДК 537.312.5:621.383.52

Фотодиод ультрафиолетового диапазона на основе селенида цинка

Перевертайло В. Л., Добровольский Ю. Г., Попов В. М., Поканевич А. П.,
Мацкевич В. М., Рыжиков В. Д., Шабашкевич Б. Г., Юрьев В. Г.

Ключевые слова: фотодиод Шоттки, УФ-излучение, радиометрия, дозиметрия.

Рассмотрены конструкция и технология изготовления фотодиодов Шоттки на основе ZnSe, чувствительных в ультрафиолетовой области спектра. Проведены исследования эле­ктро­фи­зи­чес­ких и фотоэлектрических характеристик фотодиодов Шоттки Nі–ZnSe(Te,O)–Іn и показано, что они мо­гут быть применены в приборах для радиометрии и дозиметрии УФ-излучения в диапазонах УФА, УФВ и УФС. Сравнение параметров УФ-фотодиодов на ZnSe с аналогами показали, что су­щес­твенным отличием разработанного фотодиода является его малая емкость и низкое значение тем­но­во­го тока.

Украина, г. Киев, НИИ микроприборов; г. Черновцы, НПФ «Тензор»;
г. Харьков, Институт сцинтилляционных материалов.

***

The photodiode of UV-range on the basis of ZnSe

Perevertailo V. L., Dobrovol’skiy Yu. G., Popov V. M., Pokanevich A. P.,
Matskevich V. M., Pizhikov V. D., Shabashkevich B. G., Yur’yev V. G.

The construction and technology of Shottky photodiode on the basis of ZnSe, sensible in the ultraviolet region of spectrum are considered. Researches of electrophysical and photo-electric descriptions of photodiodes of Shottky Nі–ZnSe(Te,O)–Іn are conducted and it is shown, that they can be applied in devices for radiometry and dissymmetry UV radiations in the ranges UVA, UVB and UVC. Comparison of parameters of developed UV photodiodes based on ZnSe with analogues showed that small capacitance and low value of dark current is their substantial difference of other ones.