УДК 621.521

Тенденции развития средств создания
и анализа безмасляного вакуума

Васильев Ю. К., Нестеров С. Б., Васильева Т. С.

Ключевые слова: безмасляный форвакуумный насос, винтовой насос, высоковакуумные средства откачки, магнитный подвес, криовакуумный насос.

Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тен­ден­ции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования — форвакуумных и вы­со­ко­ва­куумных средств откачки, вакуумметрии и другого аналитического вакуумного обо­ру­до­ва­ния. Оценивается емкость различных региональных рынков вакуумного оборудования.

Россия, г. Москва, НИИ вакуумной техники им. С. А. Векшинского.

***

New trends in oil free vacuum generation equipment

Vasiliev Yu. K., Nesterov S. B., Vasilieva T. S.

Main modern trends of vacuum technology and vacuum equipment market such as fore-vacuum and high-vacuum pumps, analytical devices and vacuum components are shown. Amount of different regional markets is also reviewed by main world vacuum equipment suppliers turnover.