УДК 533.9.004.14

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

Дудин С. В., Рафальский Д. В., Зыков А. В.

Ключевые слова: источник ионов, ВЧ индукционный разряд, ионно-оптическая система, компенсация пучка ионов.

Исследованы характеристики ВЧ-источника ионов с односеточной ИОС с диаметром пучка 250 мм и током пучка до 1 А. Измерены функции распределения по энергии ионов и электронов, эмитируемых источником. Показано, что количество эми­ти­ру­е­мых источником электронов до­ста­точ­но для полной токовой компенсации пучка ионов. Предложен метод управления со­от­но­ше­ни­ем токов ионов и электронов, эмитируемых источником, который позволяет изменять это со­от­но­ше­ние в широких пределах. Использование ВЧ индукционного разряда в источнике по­зво­ли­ло до­стичь высоких плотностей тока в диапазоне низких энергий ионов с возможностью не­за­ви­си­мо­го уп­рав­ле­ния энергией и плотностью тока ионов.

Украина, Харьковский нац. ун-т им. В. Н. Каразина.

***

RF broad-beam low-energy ion source with electron compensation

Dudin S. V., Rafalskyi D. V., Zykov A. V.

Characteristics of single-grid RF ion source with 250 mm beam diameter and 1A beam current have been studied. Energy distribution functions of electrons and ions emitted by the source have been measured. It is shown that the emitted electron current is sufficient for full ion beam current compensation. The technique of ion to electron current ratio control allowing to change this ratio in wide range is proposed. Using the ICP in the source allows to rich high current density in the low ion energy range with the possibility of independent control of ion energy and current density.