УДК 621.382

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂

Алиева Х. С., Сулейманов С. С., Муршудли М. Н.

Ключевые слова: газочувствительный элемент, резистивная структура, оксиды азота, напыление пленок, детектирующие характеристики фталоцианина кремния.

Анализируется влияние технологических параметров (условий получения, термообработки, тол­щи­ны) на характеристики резистивных структур с пленками фталоцианина кремния. Пленки по­лу­че­ны методом напыления. Показана их высокая чувствительность к оксидам азота. Со­по­став­ля­ют­ся электрические и детектирующие свойства при воздействии газа и температуры. Уточнены тем­пе­ра­тур­ные диапазоны работы. Малые значения времени отклика и десорбции наряду с высокой чув­стви­тель­но­стью позволяют использовать чув­стви­тель­ные структуры с фталоцианином крем­ния в газодетекторах.

Азербайджан, г. Баку, Национальное Аэрокосмическое агентство, Институт радиационных проблем Национальной Академии наук.

***

Gasosensing elements on the base of SiPcCl₂ films

Alieva Kh. S., Sulejmanov S. S., Murshudli M. N.

Influence of technological parameters (reception conditions, heat treatment and thickness) on electric and sensing properties of SiPcCl2 films is analyzed. The films are received by a evaporating method. High sensitivity to oxides of nitrogen is shown. Electric and sensing properties are compared at gas and temperatures influences. Temperature limits of work are determined. Small response and desorption times with high sensitivity allow to use structures with silicon phthalocyanine films in gasosensors.