УДК 681.786.23/24

Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов

Ильин В. Н., Дубешко А. В., Михаевич Д. А.

Ключевые слова: оптическая триангуляция, лазер, ПЗС-матрица, считывание, видеосигнал, алгоритм обработки, ша­го­вый двигатель, датчик линейных перемещений, USB-интерфейс.

Описан метод измерения, представлены базовые варианты многокоординатных устройств кон­т­ро­ля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пуч­ка, и принцип построения и конструкция трехкоординатной системы измерения высоты и ли­ней­ных размеров микросборок ПЗС.

Республика Беларусь, г. Минск, Институт физики НАН Беларуси.

***

Laser devices for geometric parameters measuring
of three-dimensional objects

Ilyin V. N., Dubeshko A. V., Mikhaevich D. A.

The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construc-tion of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.