УДК 621. 315. 592

Радиационная технология улучшения омических контактов
к элементам электронной техники

Конакова Р. В., Колядина Е. Ю., Матвеева Л. А, Нелюба П. Л., Шинкаренко В. В.

Ключевые слова: фуллереновые пленки, металлизация, микроволновый отжиг.

Исследованы два вида металлизации (Au, Ti) к фуллерен-содержащему материалу. Изучена эффективность микроволнового отжига полимер-фуллеренового слоя с обеими металлизациями, и показано, что СВЧ-обработка снижает суммарное сопротивление структуры в обоих случаях. Показана перспективность использования титановой металлизации по сравнению с золотой, проанализированы механизмы, обуславливающие качество титановой металлизации.

Украина, г. Киев, ИФП им. В. Е. Лашкарёва НАНУ.

***

Radiation technology for improvement of ohmic contacts
to the electronic device elements

Konakova R. V., Kolyadina Е. Yu., Matveeva L. А, Nelyuba P. L., Shynkarenko V. V.

Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented.