УДК 621.382

Свойства и практическое применение
нанокристаллических пленок оксида церия

Максимчук Н. В., Шмырева А. Н. , Борисов А. В.

Ключевые слова: тонкие пленки CeO_x, биосенсорные системы, фоторезисторы, МДП-фотодиоды, ионоселективные полевые транзисторы, МДП-варакторы, биолюминесценция, регистрация рН.

Проведено исследование свойств пленок CeO_x, изготовленных разными методами. Сравнительный анализ показал, что метод «окисления металлического зеркала» позволяет получить пленки со значительно лучшими характеристиками, чем метод «взрывного испарения», хотя при использовании последнего метода полученные пленки CeO_x и структуры на их основе имеют более высокую фоточувствительность. При этом была определена оптимальная температура подложки. Полученные данные расширяют область применения CeO_x-пленок для микроэлектронных сенсоров.

Украина, г. Киев, НТУУ «КПИ».

***

Properties and practical application of thin CeO_x films

Maksimchuk N. V., Shmyreva A. N., Borisov A. V.

The properties of CeO_x films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys “metallic mirror oxidation” method allows to produce films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though the latter method yields higher photosensitivity of CeO_x films and structures on their base. In the process the optimal value of the substrate temperature was determined. Obtained data expand the CeO_x application potential in microelectronic sensor sphere.