УДК 621.372

Пределы управляемости диэлектрической неоднородности, расположенной между металлическими плоскостями

Прокопенко Ю. В.

Ключевые слова: микромеханическое управление, эффективная диэлектрическая проницаемость, ди¬электрическая неоднородность.

Получены оценки управляемости характеристиками расположенной между металлическими плоскостями диэлектрической неоднородности как элемента микромеханически управляемых СВЧ-устройств. Показано, что при микроперемещениях металлической плоскости над диэлектриком эффективная диэлектрическая проницаемость неоднородности может изменяться от значения относительной проницаемости диэлектрика до единицы. Получены критерии необходимой малости толщины диэлектрика или частоты, при которых диэлектрический эффект не наблюдается. Полученные результаты могут быть использованы при проектировании электромеханически управляемых СВЧ-устройств с использованием пьезоэлектрических и электрострикционных актюаторов или микроэлектромеханических систем.

Украина, НТУУ «Киевский политехнический институт».