http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2018.4.28

УДК 620.3

Зміна провідності структур «пористий кремній з наночастинками срібла — кремній» при детектуванні перекису водню

Кутова О. Ю., Душейко М. Г., Лобода Б. О., Обухова Т. Ю.

Ключові слова: сенсор, перекис водню, пористий кремній, наночастинки срібла.

Досліджено механізми зміни провідності структур «пористий кремній з наночастинками срібла — кремній» найпростіших резистивних сенсорів під впливом перекису водню. Показано, що зміна провідності сенсора під час розкладу перекису водню в присутності наночастинок срібла відбувається за рахунок двох конкуруючих процесів — екстракції електронів з об’єму кремнію у пористий кремній та розігріву структури в результаті реакції розкладу перекису водню.

Україна, Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського».

Опис статті для цитування: Кутова О. Ю., Душейко М. Г., Лобода Б. О., Обухова Т. Ю. Зміна провідності структур «пористий кремній з наночастинками срібла — кремній» при детектуванні перекису водню. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2018, № 4, с. 28-32. http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2018.4.28

Cite the article as:: Kutova O. Yu., Dusheyko M. G., Loboda B. O., Obukhova T. Yu. Changing the conductivity of porous silicon with silver nanoparticles / silicon structures when detecting hydrogen peroxide. Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, 2018, no. 4, pp. 28-32. http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2018.4.28