Дослідження параметрів тліючого розряду у коаксіальній системі електродів з тонким катодом
Анотація
Побудовано дрейфово-дифузійну модель тліючого розряду в коаксіальній системі з діелектричними кінцями електродів при напрузі 800 В, температурі аргону 300 К, pd ≈ 2 Па∙м (p — тиск робочого газу, d — відстань між електродами). При моделюванні плазми враховано процеси іонізації, пружних зіткнень, перезаряджання іонів та вторинної емісії катода. Розраховано розподіл потенціалу, концентрацію заряджених частинок та електронний струм вздовж катода. Досліджено вплив баластного резистора і блокувальної ємності на параметри розряду.
Посилання
Surzhikov S. T. Theoretical and Computational Physics of Gas Discharge Phenomena: A Mathematical Introduction, Berlin/Boston: Walter de Gruyter GmbH, 2020, 549 p.
Fridman A., Kennedy L. A. Plasma Physics and Engineering. Boca Raton: CRC Press, 2021, 724 p. https://doi.org/10.1201/9781315120812
Lisovskiy V. A., Yakovin S. D. experimental study of a low-pressure glow discharge in air in large diameter discharge tubes Plasma Physics Reports. 2000, vol. 26, no. 12, pр. 1066–1075. https://doi.org/10.1134/1.1331142
Hou L., Wang Y., Wang J. et al. Theoretical study on characteristics of glow discharged neon gas and its interaction with terahertz waves, Front. Phys., 2021, vol. 9, 751335. https://doi.org/10.3389/fphy.2021.751335
Almeida P. G. C., Benilov M. S., Faria M. J. Study of stability of dc glow discharges with the use of comsol multiphysics software. Journal of Physics: Applied Physics, 2011, vol. 44, no. 41, 415203. https://doi.org/10.1088/0022-3727/44/41/415203
Bouchikhi A., Hamid A. 2D DC subnormal glow discharge in argon. Plasma Science and Technology, 2010, vol. 12, no. 1, pp. 59–66. https://doi.org/10.1088/1009-0630/12/1/13
Phadke P., Sturm J. M., van der Kruijs R. W. E., Bijkerk F. Sputtering and nitridation of transition metal surface under low energy, steady state nitrogen ion bombardmentю Appl. Surf. Sci., 2020, vol. 505, 144529. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2019.144529
Kuzmichev A., Perevertaylo V., Tsybulsky L., Volpian O. Characteristics of flows of energetic atoms reflected from metal target during ion bombardment. J. Phys.: Conf. Ser. 2016, vol. 729, 012005. https://doi.org/10.1088/1742-6596/729/1/012005
Rafatov I., Islamov G., Eylenceoglu E. et al. Analysis of different modeling approaches for simulation of glow discharge in helium at atmospheric pressure. Phys. Plasmas, 2023, vol. 30, iss. 9, art. 093504. https://doi.org/10.1063/5.0161535
Rafatov I., Bogdanov E. A., Kudryavtsev A. A. On the accuracy and reliability of different fluid models of the direct current glow discharge. Phys. Plasmas, 2012, vol. 19, iss. 3, 033502. https://doi.org/10.1063/1.3688875
Xiao-Qiong Wen, Li-Yong Yin, De-Zhen Wang. A direct current glow discharge plasma source for inner surface modification of metallic tubeю Nuclear Instruments and Methods in Physics. Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2007, vol. 263, iss. 2, pp. 535–537. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2007.07.020
Šijačić D. D., Ebert U., Rafatov I. Period doubling cascade in glow discharges: Local versus global differential conductivity. Physical Review E, 2004, no. 70, 056220. https://doi.org/10.1103/PhysRevE.70.056220
Bogaerts A., Wilken L., Hoffmann V. et al. Comparison of modeling calculations with experimental results for rf glow discharge optical emission spectrometry. Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy, 2002, vol. 57, iss. 1, pp. 109–119. https://doi.org/10.1016/S0584-8547(01)00357-3
Авторське право (c) 2024 Ольга Андрієнко
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
