Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

  • С. В. Дудин ННЦ «Харьковский физико-технический институт», Украина
  • А. П. Яцков ННЦ «Харьковский физико-технический институт», Украина
  • В. И. Фареник ННЦ «Харьковский физико-технический институт», Украина
Ключові слова: диагностика плазмы, зондовый контроль, плазменные технологии, кривые травления, универсальный прибор, технологическая плазма

Анотація

Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный прибор «Плазмометр», предназначенный для автоматизированного определения ключевых параметров лабораторной и технологической плазмы.

Опубліковано
2002-06-30
Як цитувати
Дудин, С. В., Яцков, А. П., & Фареник, В. И. (2002). Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 43-50. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.3.43
Номер
№ 3 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2002 Дудин С.В., Яцков А.П., Фареник В.И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.