Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем

  • C. H. Дранчук Одесская национальная морская академия, Одесса, Украина
  • B. A. За­вад­ский Одесская национальная морская академия, Одесса, Украина
  • B. A. Мокрицкий Одесский национальный политехнический университет, Одесса, Украина
Ключові слова: эпитаксия, массоперенос, диффузия, раствор-расплав, подложка, режим, слои, температура

Анотація

Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано прак­ти­чес­кое применение обнаруженного явления.

Опубліковано
2012-10-23
Як цитувати
ДранчукC. H., За­вад­скийB. A., & МокрицкийB. A. (2012). Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 48-51. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.5.48
Номер
№ 5 (2012): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2012 Дранчук С. Н., За­вад­ский В. А., Мокрицкий В. А.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.