Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке

  • В. А. Сокол Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Республика Беларусь
  • А. И. Воробьева Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Республика Беларусь
Ключові слова: многокристальные модули, алюминиевая подложка, анодный оксид алюминия, теплоотводящие столбики, локальное анодирование, защитная маска, электрохимические процессы

Анотація

Представлены результаты исследований процесса локального формирования пористого анодного оксида алюминия и его сплавов. Разработан технологический процесс формирования защитной маски, устойчивой при толстослойном электрохимическом анодировании сплавов алюминия в процессе изготовления алюминиевой подложки с теплоотводящими столбиками и контактными переходами.

Опубліковано
2002-04-30
Як цитувати
Сокол, В. А., & Воробьева, А. И. (2002). Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 40-45. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.2.40