Диодные реакторные системы микротравления

  • В. И. Фареник ННЦ «Харьковский физико-технический институт», Украина
Ключові слова: диодные реакторы, системы микротравления, емкостный разряд, плазменное оборудование, малое энергопотребление, комбинированные поля

Анотація

Разработано малоэнергоемкое плазменное технологическое оборудование на основе разрядов с комбинированными постоянным и переменным электрическим и магнитным полями. В настоящей работе приведены результаты исследований характеристик высокочастотного емкостного разряда и разработки диодных реакторов установок микротравления с малым энерговкладом.

Опубліковано
2002-06-30
Як цитувати
Фареник, В. И. (2002). Диодные реакторные системы микротравления. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 38-42. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.3.38
Номер
№ 3 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2002 Фареник В.И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.