Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники

  • В. М. Попов НИИ микроприборов НАНУ, Киев, Украина
  • А. С. Клименко НИИ микроприборов НАНУ, Киев, Украина
  • А. П. Поканевич НИИ микроприборов НАНУ, Киев, Украина
Ключові слова: «горячая точка», визуализация, дефекты, нематические и холестерические жидкие кристаллы, жидкокристаллические фазы, интегральные схемы

Анотація

Разработан новый метод жидкокристаллической термографии «горячих точек» в кристаллах изделий микроэлектроники, основанный на использовании визуального отображения «горячей точки» локальной холестерической фазой в прозрачной смектической фазе холестерического жидкого кристалла на фоне четкого изображения топологических элементов поверхности кристала изделия. Приведены примеры отображения «горячих точек» на образцах кристаллов различных типов интегральных схем.

Опубліковано
2008-06-30
Як цитувати
Попов, В. М., Клименко, А. С., & Поканевич, А. П. (2008). Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 55-58. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.3.55
Номер
№ 3 (2008): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2008 Попов В. М., Клименко А. С., Поканевич А. П.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.