Параметры поверхностных акустических волн в пьезокристаллах при высоких значениях температуры

Анотація

При про­ек­ти­ро­ва­нии вы­со­ко­тем­пе­ра­тур­ных сен­со­ров на ПАВ су­щест­ву­ет за­да­ча рас­че­та ха­рак­те­рис­тик рас­про­стра­не­ния ПАВ и по­ис­ка оп­ти­маль­ных ориен­та­ций для них в пьезо­крис­тал­ли­чес­ких ма­те­риа­лах. В ра­бо­те рас­сма­три­ва­ет­ся влия­ние тем­пе­ра­ту­ры на ос­нов­ные ха­рак­те­рис­ти­ки рас­про­стра­не­ния по­верх­но­ст­ных аку­сти­чес­ких волн в пьезо­кри­стал­лах при вы­со­ких тем­пе­ра­ту­рах и при­ве­де­ны ре­ко­мен­да­ции по ис­поль­зо­ва­нию пьезо­кри­стал­ли­чес­ких под­ло­жек квар­ца, нио­ба­та ли­тия, тан­та­ла­та ли­тия, ор­то­фос­фа­та гал­лия, лан­га­си­та в ка­чес­тве зву­ко­про­во­дов ПАВ.