Сопротивление контактов тонкопленочного резистора

  • В. Г. Спирин Арзамасский политехнический институт (филиал) НГТУ, Россия
Ключові слова: модель расчета контактного сопротивления, температурная стабильность резистора

Анотація

Предложена аналитическая модель расчета контактного сопротивления тонкопленочного резистора. Исследована зависимость контактного сопротивления от клина травления. Рассмотрено влияние адгезионного слоя на температурную стабильность резистора. Получены формулы расчета систематической и случайной погрешности, вносимой контактным сопротивлением.

Опубліковано
2008-10-30
Як цитувати
Спирин, В. Г. (2008). Сопротивление контактов тонкопленочного резистора. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 20-23. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.20