Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния

  • О. А. Кулинич Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова, Украина
  • В. А. Смынтына Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова, Украина
  • М. А. Глауберман Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова, Украина
  • Г. Г. Chemeresyuk Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова, Украина
  • И. Р. Яцунский Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова, Украина
Ключові слова: кремний, оксид, дефекты

Анотація

С помощью современных методов исследована сложная структура приповерхностных слоев кремния в системах «кремний — диоксид кремния». Выявлены зависимости параметров этих слоев от условия оксидирования и характеристик первоначального кремния. Показано влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния.

Опубліковано
2008-10-30
Як цитувати
Кулинич, О. А., Смынтына, В. А., Глауберман, М. А., ChemeresyukГ. Г., & Яцунский, И. Р. (2008). Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 62-64. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2008.5.62
Номер
№ 5 (2008): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2008 Кулинич О. А., Смынтына В. А., Глауберман М. А., Чемересюк Г. Г., Яцунский И. Р.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.