Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пле­нок по­ли­крис­тал­ли­чес­ко­го крем­ния, ле­ги­ро­ван­ных фос­фо­ром в про­цес­се рос­та

Анотація

Проведено исследование кинетики осаждения пле­нок по­ли­крис­тал­ли­чес­ко­го крем­ния, ле­ги­ро­ван­ных в про­цес­се рос­та фос­фо­ром (ПКЛФ). Раз­ра­бо­та­на ад­сорб­ци­он­но-ки­не­ти­чес­кая мо­дель про­цес­са осаж­де­ния ПКЛФ с ис­поль­зо­ва­ни­ем кон­цен­три­ро­ван­но­го мо­но­си­ла­на. Оп­ре­де­ле­ны зна­че­ния кон­стант ге­те­ро­ген­ной ре­ак­ции, а так­же кон­стант, ха­рак­те­ри­зу­ю­щих про­цесс ад­сорб­ции мо­но­си­ла­на и фос­фи­на. Оп­ре­де­ле­на об­ласть оп­ти­маль­ных со­от­но­ше­ний по­то­ков PH₃/SiH₄ и тем­пе­ра­ту­ры, при ко­то­рых обес­пе­чи­ва­ют­ся при­ем­ле­мая ско­рость и од­но­род­ность осаж­де­ния, вы­со­кий уро­вень ле­ги­ро­ва­ния и кон­форм­ное за­пол­не­ние то­по­ло­ги­чес­ко­го ре­лье­фа плен­ка­ми ПКЛФ.