Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы

  • В. Л. Перевертайло НИИ микроприборов НТК «ИМК» НАН Украины, Украина, г. Киев, Украина
Ключові слова: технология р -, n -стороны детектора, поликремниевые интегрированные резисторы, конденсатор с двухслойным диэлектриком, радиационная стойкость, коэффициент дозовой зависимости

Анотація

Рассмотрены вопросы проектирования, технологии и изготовления двухсторонних кремниевых микростриповых детекторов на стандартном оборудовании технологической линии в условиях серийного производства кремниевых интегральных схем. Представлена разработка прототипа детектора высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE (CERN). Изготовленные детекторы сравнимы по параметрам с аналогичными зарубежными детекторами, однако отличаются меньшей стоимостью.

Опубліковано
2011-10-17
Як цитувати
Перевертайло, В. Л. (2011). Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 17-24. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.5.17
Номер
№ 5 (2011): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2011 Перевертайло В. Л.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.