Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»

Анотація

На основании результатов исследования процессов токопереноса в контактах «металл —p-кремний» с различной толщиной слоя поликристаллического p-кремния описаны механизмы токопереноса через такие структуры. Установлено, что при увеличении толщины слоя поликристаллического p-кремния механизм токопереноса изменяется от двойного инжекционного к дрейфово-диффузионному. Такое изменение связано с увеличением дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта «металл — p-кремний», возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних поликристаллов кремния.