Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев

  • C. H. Дранчук Одесская национальная морская академия, Одесса, Украина
  • B. A. Завадский Одесская национальная морская академия, Одесса, Украина
  • B. A. Мокрицкий Одесский национальный политехнический университет, Одесса, Украина
Ключові слова: эпитаксия, раствор-расплав, диффузия, слой, концентрация

Анотація

На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верхней и нижней подложках, с учетом различия механизмов переноса кристаллизуемого вещества.

Опубліковано
2013-06-14
Як цитувати
ДранчукC. H., ЗавадскийB. A., & МокрицкийB. A. (2013). Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2–3), 58-60. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.2-3.58
Номер
№ 2–3 (2013): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2013 Дранчук С. Н., Завадский В. А., Мокрицкий В. А.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.