Інформаційно-вимірювальна система на базі датчиків з тензорезисторами на основі мікрокристалів кремнію
Анотація
Розроблено інформаційно-вимірювальну систему на основі датчика тиску з тензорезисторами, виготовленими з ниткоподібних кристалів кремнію, яка забезпечує можливість одночасного вимірювання тиску та температури. Вимірювальний канал системи побудовано на базі мікроконтролера AVR ATmega328P, що забезпечує можливість створення сучасних високоточних розподілених систем збору та відображення інформації.
Посилання
Shchevelev A.S., Kikot V.V., Udalov A.Yu. The information-measuring system for space technology monitoring. Rocket-Space device engineering and information systems, 2016, vol. 3, iss. 2, pp. 54-59.
Mikhajlov P.G., Slesarev Yu.N., Chulkov V.A. Mathematical modeling of combined sensor information-measuring systems. International Journal of Applied Engineering Research, 2016, vol. 11, nî 20, pp. 10332-1033.
Starr P., Bartels K., Agrawal M., Bailey S. Evolution of micromachined pressure transducers for cardiovascular applications. Sensors and Actuators A, 2015, vol. 225, pp. 8-19. https://doi.org/10.1016/j.sna.2015.01.026
Neuzil P., Wong C.C., Reboud J. Electrically controlled giant piezoresistance in silicon nanowires. Nano Letters, 2010, vol. 10, iss. 4, pp. 1248-1252. https://doi.org/10.1021/nl9037856
Lou L., Zhang S., Park W.-T. et al. Optimization of NEMS pressure sensors with a multilayered diaphragm using silicon nanowires as piezoresistive sensing elements. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2012, vol. 22 (055012), pp. 1-15. https://doi.org/10.1088/0960-1317/22/5/055012
Huang Y.A., Dong W., Huang T. et al. Self-similar design for stretchable wireless LC strain sensors. Sensors and Actuators A, 2015, vol. 224, pp. 36-42. https://doi. org/10.1016/j.sna.2015.01.004
Lepikh Y.I., Hordienko Y.O., Dziadevych S.V. et al. Stvorennia mikroelektronnykh datchykiv novoho pokolinnia dlia intelektualnykh system [Development of new-generation microelectronic sensors for intelligent systems]. Odessa, Astroprynt, 2010, 296 p. (Ukr)
Voronin V., Maryamova I., Zaganyach Y., Karetnikova E., Kutrakov A. Silicon whiskers for mechanical sensors. Sensor and Actuators A, 1992, vol. 30, iss. 1-2, pp. 27-33. https://doi.org/10.1016/0924-4247(92)80193-7
Druzhinin A.A., Ostrovskii I.P. Investigation of Si- Ge whisker growth by CVD. Physica Status Solidi (C), 2004, vol. 1, iss. 2, pp. 333-336. https://doi.org/10.1002/ pssc.200303948
Druzhinin А.A., Maryamova I.Y., Kutrakov O.P. Datchyky mekhanichnykh velychyn na osnovi nytkopodibnykh krystaliv kremniiu, germaniiu ta spoluk А3В5 [Sensors of mechanical quantities based on silicon, germanium and A3B5 whiskers]. Lviv, Vydavnytstvo Lvivs’koi Politekhniky, 2015, 232 p. (Ukr)
Druzhinin А.A., Kutrakov A.P., Maryamova I.I. Hightemperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers. Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, 2012, no. 6, pp. 25-28. (Rus)
Druzhinin А.A., Kutrakov A.P., Liakh-Kaguy N.S., Vuitsyk A.M. Dual-function pressure-temperature sensor based on silicon whiskers. Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, 2013, no. 4, pp. 23-26. (Rus)
Druzhinin A. A., Kutrakov А. P., Nichkalo S. I., Stasiv V. M. Information and measuring system with using sensors on the basis of silicon whiskers. Proc. of 19th ISPC “Modern Information and Electronic Technologies”, Ukraine, Odessa, 2018, рр. 133-134. (Ukr)
Katkov А.N. [Algorithms for error correction of tensometric pressure sensors with digital secondary converters]. Molodoi Uchonyi, 2011, vol. 1, iss. 8, pp. 58-60. (Rus)
Buriachenko A.G., Grudinkin V.М. [Technical and algorithmic means for improving the metrological level and reliability of sensors and pressure measurement systems]. Aviacionno-kosmicheskaya tehnika i tekhnologiia, 2005, vol. 8, pp. 105-109. (Rus)
Авторське право (c) 2018 Дружинін А. О., Кутраков О. П., Нічкало С. І., Стасів В. М.
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
