Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах

  • Ф. Д. Касимов ОКБ космического приборостроения, Баку, Азербайджан
  • А. Э. Лютфалибекова ОКБ космического приборостроения, Баку, Азербайджан
Ключові слова: полупроводниковые структуры, механические напряжения, упругие постоянные, двухслойные структуры, температура осаждения пленки

Анотація

Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.

Опубліковано
2002-04-30
Як цитувати
Касимов, Ф. Д., & Лютфалибекова, А. Э. (2002). Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 13-14. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.2.13
Номер
№ 2 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2002 Касимов Ф. Д., Лютфалибекова А. Э.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.