Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
Ключові слова:
информационно-измерительный комплекс, оптоемкостная спектроскопия, полупроводниковые материалы, ширина запрещенной зоны, бесконтактный метод, настройка канала измерения
Анотація
Комплекс позволяет исследовать оптические свойства полупроводниковых материалов, в частности, ширину запрещенной зоны, энергию ионизации примесей. В его основу положен метод оптоемкостной спектроскопии. Метод является бесконтактным, позволяет исследовать образцы полупроводниковых материалов, толщина которых меньше, чем диффузионная длина свободных носителей заряда. Комплекс состоит из монохроматора, исследуемой твердотельной структуры, оптоемкостного преобразователя и регистратора. Описан алгоритм автоматизированной настройки канала измерения.
Опубліковано
2002-04-30
Як цитувати
Васильев, В. А. (2002). Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 46-49. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.2.46
Розділ
Articles
Авторське право (c) 2002 Васильев В. А.
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
