Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения

Анотація

Раз­ра­бо­та­ны раз­лич­ные кон­струк­ции оп­ти­чес­ких сен­со­ров га­зов и га­зо­ана­ли­за­то­ров на их ос­но­ве с ис­поль­зо­ва­ни­ем ма­ло­мощ­ных по­лу­про­вод­ни­ко­вых ис­точ­ни­ков ИК-из­лу­че­ния на дли­ны волн 2,5—5,0 мкм, из­го­тов­лен­ных на ба­зе ге­те­ро­струк­тур InGaAs/InAs и InAsSbP/InAs. При­ве­де­ны эк­спе­ри­мен­таль­ные ре­зуль­та­ты, де­мон­стри­ру­ю­щие воз­мож­ность при­ме­не­ния по­лу­про­вод­ни­ко­вых ис­точ­ни­ков ИК-из­лу­че­ния в оп­ти­чес­ких сен­со­рах для из­ме­ре­ния кон­цен­тра­ции ме­та­на (CH₄) и ди­ок­си­да уг­ле­ро­да (CO₂). По­ка­за­на пер­спек­тив­ность ис­поль­зо­ва­ния та­ких сен­со­ров в при­бо­рах га­зо­во­го ана­ли­за но­во­го по­ко­ле­ния.