Микросборка на кремниевой плате для акселерометра

  • В. Г. Спирин Арзамасский политехнический институт (филиал) НГТУ, Россия
Ключові слова: многоуровневая плата, тонкопленочная микросборка

Анотація

Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях.

Опубліковано
2013-10-14
Як цитувати
Спирин, В. Г. (2013). Микросборка на кремниевой плате для акселерометра. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 24-27. вилучено із https://tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2023.5.24
Номер
№ 5 (2013): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2013 Спирин В. Г.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.